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涂布模頭高度控制方法

文章出處:公司新聞 責(zé)任編輯:東莞市松井超精密機(jī)械有限公司 發(fā)表時(shí)間:2024-05-28
  

所述模頭高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括兩個(gè)伺服電機(jī),可以分別調(diào)節(jié)模頭兩端的高度;所述距離測(cè)量儀為兩個(gè),分別設(shè)置在涂布模頭或涂布平臺(tái)的兩側(cè)。采用上述優(yōu)選的方案,可以對(duì)兩端高度分別調(diào)節(jié),便于調(diào)整薄膜厚度的均勻度。所述距離測(cè)量儀設(shè)置在涂布平臺(tái)的兩側(cè),倒置在所述涂布模頭的下方。采用上述優(yōu)選的方案,將距離測(cè)量儀倒置在涂布模頭下方,測(cè)量由下至上,可以節(jié)省空間。所述距離測(cè)量儀經(jīng)固定支架設(shè)置在所述涂布模頭的側(cè)方。采用上述優(yōu)選的方案,將距離測(cè)量儀固定在涂布模頭的側(cè)方,測(cè)量由上至下,該固定結(jié)構(gòu)簡潔,便于利用大理石基準(zhǔn)平臺(tái)實(shí)施校正操作。設(shè)定一預(yù)設(shè)對(duì)比差值,計(jì)算涂布模頭兩端實(shí)時(shí)高度差值,當(dāng)超出預(yù)設(shè)對(duì)比差值時(shí),實(shí)施涂布模頭高度向預(yù)設(shè)高度范圍的調(diào)整。

設(shè)置模頭高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)5,用以調(diào)整涂布模頭1的高度位置;在涂布模頭1或涂布平臺(tái)2上設(shè)置距離測(cè)量儀,用以測(cè)量涂布模頭1與涂布平臺(tái)2之間的距離;根據(jù)應(yīng)用環(huán)境設(shè)定一預(yù)設(shè)高度值、一預(yù)設(shè)偏差值;距離測(cè)量儀測(cè)定涂布模頭1與涂布平臺(tái)2的距離;將預(yù)設(shè)高度值與距離進(jìn)行比較,并根據(jù)預(yù)設(shè)高度值通過模頭高度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)5調(diào)整涂布模頭1的高度;距離測(cè)量儀實(shí)時(shí)測(cè)定涂布模頭1與涂布平臺(tái)2的距離;根據(jù)預(yù)設(shè)高度值及預(yù)設(shè)偏差值獲得高度值范圍,當(dāng)實(shí)時(shí)測(cè)定的距離偏移高度值范圍時(shí),實(shí)施涂布模頭1高度向預(yù)設(shè)高度范圍的閉環(huán)調(diào)整。采用上述技術(shù)方案的有益效果是:在涂布過程中,直接利用距離測(cè)量儀測(cè)定涂布模頭到涂布平面的距離,并通過閉環(huán)控制完成涂布模頭的實(shí)時(shí)調(diào)整,這樣可以大大減少因?yàn)橥坎寄n^高度位置變化而造成涂布薄膜的影響,以獲得厚度均勻一致的高質(zhì)量薄膜。

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